MO-CVD Anlage zur Abscheidung von Silicium
Informationen
Name: | MO-CVD Anlage zur Abscheidung von Silicium | |
Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08