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Analytisches Zweistrahlsystem Focused Ion Beam und Rasterelektronenmikroskop JEOL JIB-4610F

Informationen

Name:	Analytisches Zweistrahlsystem Focused Ion Beam und Rasterelektronenmikroskop
Hersteller:	JEOL
Modell:	JIB-4610F
Einrichtung:	Kompetenzfeld Werkstoffcharakterisierung und -prüfung
Partner:	Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)

Kurzbeschreibung

Analytisches Zweistrahlsystem Focused Ion Beam und Rasterelektronenmikroskop - JEOL JIB-4610F

Beschreibung

Ausstattung / Technische Daten
- Emission: JEOL In-lens-thermische Feldemissionsquelle (max. 200 nA bei 0,1 bis 30 kV)
- Ionenquelle: Ga Flüssigmetall (3 pA bis max. 90 nA bei 30 kV)
- Auflösung: 1.2 nm (bei 30kV, REM), 4 nm (bei 30 kV, SIM)
- Detektoren: SE, BSE sowie STEM zur „Live“-Präparation von durchstrahlbaren TEM-Proben
- Mikromanipulatorausstattung zur Entnahme von TEM-Proben (Fa. Kleindiek)
- Zusatzausstattung: EDX- und EBSD-Analysesystemen
Methoden
- Hochpräzise, schädigungsarme und effektive Zielpräparation verschiedener Werkstoffe (u.a. Metalle, Kunststoffe, Verbundwerkstoffe, Schichten, Nanowerkstoffe)
- „Microfabrication“ / „Nanofabrication“:
  - Herstellung vielfältiger geometrischer Strukturen
  - typische Volumina: 10 μm³
  - typische Genauigkeit: 10 nm
- 3D-Analytik von Werkstoffen, Tomographie und 3D Rekonstruktionen; jeweils kombinierbar mit EDX und EBSD- Analysen
- Effiziente Bearbeitung großer Flächen und Volumina durch Ionenabtrag mit Ionenströmen bis zu 90 nA

Optionen der Gerätenutzung

Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.

Ansprechpartner

Prof. Dr. Martina Zimmermann

Web:

http://www.iws.fraunhofer.de/en/business_fields/materials_characterization/service_offers.html

Telefon:

+49 351 83391-3573

Zugeordnete Dienstleistungen

Name	Vorschau	Aktionen
Entwicklung und Bewertung von prozess- und anwendungsspezifischen Prüfstrategien
Zielpräparation zur Untersuchung von Defekten in Werkstoffen und Bauteilen aus metallischen und nichtmetallischen Werkstoffen
Metallographische, elektronenmikroskopische und mikroanalytische Charakterisierung der Realstruktur von Metallen, Keramiken und Verbundwerkstoffen
Produktbegleitende Qualitätssicherung
Hochauflösende, abbildende und analytische Charakterisierung von lasermodifizierten Randzonen, Fügegrenzflächen, Dünnschichtsystemen, Nanotubes und Nanopartikeln
Versagens- und Schadensfallanalysen

Bilder

Vorschau	Beschreibung
Quelle: Fraunhofer IWS	Analytisches Zweistrahlsystem Focused Ion Beam und Rasterelektronenmikroskop - JEOL JIB-4610F

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 5. August 2019 um 10:31:22