Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Helios 5 PFIB CXe DualBeam ThermoFisher Helios 5 PFIB CXe
Informationen
| Name: | Helios 5 PFIB CXe DualBeam | |
| Hersteller: | ThermoFisher | |
| Modell: | Helios 5 PFIB CXe | |
| Einrichtung: | Mikroelektronik und Nanoanalytik | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) |
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Beschreibung
Dual-beam microscope: SEM and Xe-Plasma-FIB
- SEM column
- magnetic immersion objective lens
- Schottky Field emmision gun
- UC+ monochromator
- PFIB column
- ion beam current range: 1.5pA to 2.5µA
- accelerating voltage: 500V to 30kV
- EDX and EBSD detectors
- Gans injection system (Pt and C)
- Slice and View
- Rocking mill
Ansprechpartner
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 27. Februar 2023 um 10:50:47