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Parametrisches Testsystem Keithley S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX

Informationen

Name: Parametrisches Testsystem
Hersteller: Keithley
Modell: S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: ELO-PARTEST; PAR-TEST01, PAR-TEST02

Beschreibung

  • Matrix up to 72 channels, wafer size  6", 8"; temperature: -40 ... +125 °C
  • 48 channels, wafer size4", 5", 6", 8", 12"; temperature: -40 ... +125 °C

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

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Pruefung von Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:42:37