Wir bieten Ihnen den kompletten Service für die Entwicklung von mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS) und mikro-opto-elektro-mechanischen Systemen (MOEMS) auf 200 mm-Wafern – und das alles komplett CMOS-kompatibel. 

Wir bieten Ihnen die technologische Entwicklung von Einzelprozessen über Technologiemodule bis hin zur kompletten Technologie. Auf Kundenwunsch übernehmen wir nach der erfolgreichen Entwicklung die Pilotfertigung oder unterstützen einen Technologietransfer, womit das Fraunhofer IPMS die technologischen Reifegrade (TRL) von drei bis acht abdeckt.

Unser Angebot auf einen Blick:

• Low volume & high mix
• Betrieb 24/5 mit 3 Schichten
• 45 Ingenieure + 45 Operatoren und Wartungstechniker
• ~1.000 Waferstarts pro Monat
• CMOS-Kompatibilität
• Klasse 10 (ISO 4) auf 1.500 m²
• ISO 9001:2015 Zertifizierung
• MES für Planung, Rückverfolgbarkeit und Dokumentation
• i-line (400nm L&S) und DUV-Cluster (130nm L&S)

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We offer you the complete service for the development of micro-electro-mechanical systems (MEMS) and micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS) on 200 mm wafers.

The technological development and support of MEMS technologies, from individual processes to technology modules to complete technology, as well as the process-related support of the systems in the clean room, is provided by our team of over 90 engineers, operators and technicians. On request, we take over pilot manufacturing after successful development or support a technology transfer. We cover the technological maturity levels (TRL) from three to eight.

Our offer at a glance

• Low volume & high mix
• 24/5 - 3 shift operation
• 45 engineers + 45 operators and maintenance technicians
• ~1,000 wafer starts per month
• CMOS compatibility
• Class 10 (ISO 4) on 1,500 m²
• ISO 9001:2015 certification
• MES for planning, traceability and documentation
• i-line (400nm L&S) and DUV cluster (130nm L&S)