Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
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Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.

Geräte — 200 mm MEMS-Reinraum

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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45 Ergebnisse

 

Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS

Hersteller: Formfactor
Modell: AP200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Charakterisierung von Isolatorintegrität und -zuverlässigkeit

Hersteller: Keithley
Modell: K236, K237 und K238
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

CV Analyse

Hersteller: Keithley, Keysight
Modell: B1500, HP4294A, HP4295A, K590
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Nicht elektrische Prüfung

Hersteller: Endevco
Modell: pH Sensor Tester Fraunhofer IPMS
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Elektro-optisches Testsystem für Mikrodisplays und Sensoren

Hersteller: Formfactor
Modell: F1600C Pike Camera, 20 Mpix IDS Color Camera Spectrometer Jeti Specbos 1211UV PA300
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Parametrisches Testsystem

Hersteller: Keithley
Modell: S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Mixed-Signal-Prüfung

Hersteller: Advantest; Cascade Microtech
Modell: M3650 / EG4090μ / UF3000EX; M3670-Falcon / EG4090μ+ / PA300 ; V93000 SmartScale / EG4090µ / UF3000EX|
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Messungen

Hersteller: sentronics metrology
Modell: SemDex M2
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Verspannungsmessungen

Hersteller: Frontier Semiconductor
Modell: FSM500-TC-R
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

4-Spitzenmessplatz für Schichtwiderstände

Hersteller: veonis technologies
Modell: CDE ResMap168
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

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