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Geräte — MEMS Technologies Dresden

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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13 Ergebnisse

 

Defect Inspection System

Hersteller: KLA-Tencor Corporation
Modell: Surfscan 6220
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Tunable Diode Laser System

Hersteller: New Focus™
Modell: TLB-6200
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Twymen-Green-Interferometer

Hersteller: TRIOPTICS GmbH (FISBA OPTIK GmbH)
Modell: µPhase® DCI 2
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Microscope Scanning Vibrometer

Hersteller: Polytec GmbH
Modell: MSV-300
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

X-Ray Diffractometer (XRD)

Hersteller: Siemens AG
Modell: D5000
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Ellipsometer

Hersteller: J.A. Woollam Co. Inc.
Modell: VB-400
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Energy Dispersive X-ray Spectroscope (EDS)

Hersteller: EDAX Inc.
Modell: Apollo 40
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

AMAT Defect Inspection

Hersteller: Applied Materials Inc. (AMAT)
Modell: Compass Pro
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

FT-IR Microspectroscopy System

Hersteller: Thermo Fisher Scientific GmbH
Modell: Nicolet FT-IR Spectrometer 6700
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

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