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Geräte — 200 mm MEMS-Reinraum

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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45 Ergebnisse

 

Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS

Hersteller: Formfactor
Modell: AP200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Charakterisierung von Isolatorintegrität und -zuverlässigkeit

Hersteller: Keithley
Modell: K236, K237 und K238
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

CV Analyse

Hersteller: Keithley, Keysight
Modell: B1500, HP4294A, HP4295A, K590
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Nicht elektrische Prüfung

Hersteller: Endevco
Modell: pH Sensor Tester Fraunhofer IPMS
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Elektro-optisches Testsystem für Mikrodisplays und Sensoren

Hersteller: Formfactor
Modell: F1600C Pike Camera, 20 Mpix IDS Color Camera Spectrometer Jeti Specbos 1211UV PA300
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Parametrisches Testsystem

Hersteller: Keithley
Modell: S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Mixed-Signal-Prüfung

Hersteller: Advantest; Cascade Microtech
Modell: M3650 / EG4090μ / UF3000EX; M3670-Falcon / EG4090μ+ / PA300 ; V93000 SmartScale / EG4090µ / UF3000EX|
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Messungen

Hersteller: sentronics metrology
Modell: SemDex M2
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Verspannungsmessungen

Hersteller: Frontier Semiconductor
Modell: FSM500-TC-R
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

4-Spitzenmessplatz für Schichtwiderstände

Hersteller: veonis technologies
Modell: CDE ResMap168
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum