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Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik

Informationen

Name: Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik (HLT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)

Kurzbeschreibung

Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik.

Beschreibung

Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik.

Ansprechpartner

Dr.rer.nat. Wenzel, Christian
Position:
Institutsoberassistent / senior scientist
E-Mail:
Telefon:
+4935146336413
Fax:
+4935146337172
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 27. März 2018 um 11:19:25