View all instruments of this unit Photo Plotter MIVA Technologies GmbH MIVA 26100
Basic Information
| Name: | Photo Plotter | |
| Manufacturer: | MIVA Technologies GmbH | |
| Model: | MIVA 26100 | |
| Facility: | Institute of Electronic Packaging Technology (IAVT) |
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| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Location: | WHB 165 | |
Short Description
Feinstlineplotter u.a. zur Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten.
Description
Anwendung
Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten
Prozesse
- Filmherstellung
- Photolithographie
Eigenschaften
- max. Plottfläche (500 x 400) mm²
- Rasterbelichtung mit Xenon Blitzröhre
- Datenformat GERBER 274X
- Auflösung 100.000 dpi
- min. Strukturabmessungen ca.15 µm bei Film
- verw. Planfilme: AGFA CAMERA CE, Fuji HCP
- min. Strukturabmessungen ca. 5 µm bei Glasplatten
- verw. Glasplatten: VRP (5”)
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Points of Contact
Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. K. Bock/ Mrs. S. Taupitz (Secretary)
Web:
Email:
Phone:
+49 (0) 351 463-36345
Fax:
+49 (0) 351 463-37035
Images
| Preview | Description |
|---|---|
Source: © IAVT |
Photo Plotter MIVA Technologies GmbH 26100 |
Last Update
Last updated at: 9 July 2018 at 13:33:20