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Feinstlineplotter MIVA Technologies GmbH MIVA 26100

Informationen

Name: Feinstlineplotter
Hersteller: MIVA Technologies GmbH
Modell: MIVA 26100
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)
Standort: WHB 165

Kurzbeschreibung

Feinstlineplotter u.a. zur Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten.

Beschreibung

Anwendung

Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten

Prozesse

  • Filmherstellung
  • Photolithographie

Eigenschaften

  • max. Plottfläche (500 x 400) mm²
  • Rasterbelichtung mit Xenon Blitzröhre
  • Datenformat GERBER 274X
  • Auflösung 100.000 dpi
  • min. Strukturabmessungen ca.15 µm bei Film
  • verw. Planfilme: AGFA CAMERA CE, Fuji HCP
  • min. Strukturabmessungen ca. 5 µm bei Glasplatten
  • verw. Glasplatten: VRP (5”)

Link zu weiteren Informationen

https://www.mivatec.com/index.html

Ansprechpartner

Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. K. Bock/ Mrs. S. Taupitz (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 (0) 351 463-36345
Fax:
+49 (0) 351 463-37035

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 9. Juli 2018 um 13:33:20