Feinstlineplotter MIVA Technologies GmbH MIVA 26100
Informationen
Name: | Feinstlineplotter | |
Hersteller: | MIVA Technologies GmbH | |
Modell: | MIVA 26100 | |
Einrichtung: | Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) | |
Standort: | WHB 165 |
Kurzbeschreibung
Feinstlineplotter u.a. zur Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten.
Beschreibung
Anwendung
Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten
Prozesse
- Filmherstellung
- Photolithographie
Eigenschaften
- max. Plottfläche (500 x 400) mm²
- Rasterbelichtung mit Xenon Blitzröhre
- Datenformat GERBER 274X
- Auflösung 100.000 dpi
- min. Strukturabmessungen ca.15 µm bei Film
- verw. Planfilme: AGFA CAMERA CE, Fuji HCP
- min. Strukturabmessungen ca. 5 µm bei Glasplatten
- verw. Glasplatten: VRP (5”)
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Ansprechpartner
Bilder
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 9. Juli 2018 um 13:33:20