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RF-Sputteranlage
Hersteller: Perkin-Elmer
Modell: 2400
Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Vakuumbeschichtungsanlage
Hersteller: Pfeiffer
Modell: PLS570
Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Plasmareiniger (Mikrowelle und RF)
Hersteller: Plasma Electronic
Modell: MR300D
Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse

