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RF-Sputteranlage
Hersteller: Perkin-Elmer Modell: 2400 Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Vakuumbeschichtungsanlage
Hersteller: Pfeiffer Modell: PLS570 Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
Plasmareiniger (Mikrowelle und RF)
Hersteller: Plasma Electronic Modell: MR300D Einrichtung: Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse
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