Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
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Informationen
| Name: | Photolithografie | |
| Einrichtung: | Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Standort: | WHB | |
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugangsvoraussetzungen
Vorgespräch erforderlich, keine selbständige Nutzung
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 10. März 2026 um 12:00:39