Prüfstand für elektrische Maschinen und Antriebe

Hersteller: Fa. Berghof Mühlhausen/Thüringen
Modell: Sonderanfertigung
Einrichtung: Professur für Elektrische Maschinen und Antriebe

Feinstlineplotter

Hersteller: MIVA Technologies GmbH
Modell: MIVA 26100
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik

Feinstlineplotter u.a. zur Tageslichtbelichtung von s/w-Planfilmen und Glasplatten.

Mask Aligner

Hersteller: EV Group
Modell: EVG 640
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik

Mask Aligner für Photolithographie-Anwendungen in den Bereichen Advanced-Packaging, 3D-Packaging, MEMS, Interposer-Technologien, Fotovoltaik, Nanotechnologie und Wafer- und Board-Level-Optik

Brennofen

Hersteller: ATV Technologie GmbH
Modell: ATV PEO-630
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik

Brennofen zum Brennen und Sintern von Keramiken.

Hallraum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Multimodales Messlabor

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Großer schallreflexionsarmer Raum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik