Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen AMAT Defect Inspection Applied Materials Inc. (AMAT) Compass Pro
Informationen
| Name: | AMAT Defect Inspection | |
| Hersteller: | Applied Materials Inc. (AMAT) | |
| Modell: | Compass Pro | |
| Einrichtung: | MEMS Technologies Dresden | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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Beschreibung
Measure/Resolution:
90nm
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Ansprechpartner
Mr. Michael Müller
Web:
Telefon:
+49 351 8823-130
Fax:
+49 351 8823-393
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:12