Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Defektmessungen Applied Materials; Leica; Semilab Compass Pro; INS3000; FAaST 230
Informationen
| Name: | Defektmessungen | |
| Hersteller: | Applied Materials; Leica; Semilab | |
| Modell: | Compass Pro; INS3000; FAaST 230 | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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| Inventarnummer: | MTR-DEFECT02; MTR-INSPECT02; MTR-SPV01 | |
Beschreibung
We can perform defect inspection and defect Classification.
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Zugeordnete Dienstleistungen
| Name | Vorschau | Aktionen |
|---|---|---|
| Metrologie und Inspektion |
Bilder
| Vorschau | Beschreibung |
|---|---|
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KLA-Tencor Surfscan 6220 (Quelle: www.specequipment.com) |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:00:11