Rasterelektronenmikroskop (FE REM) JEOL GmbH; FEI JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Informationen
| Name: | Rasterelektronenmikroskop (FE REM) | |
| Hersteller: | JEOL GmbH; FEI | |
| Modell: | JSM-6700F; Helios Nanolab 660 | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
| Inventarnummer: | SEM01; SEM02 | |
Beschreibung
- 3D Inspection
- Analysis SEM with FIB cut
Link zu weiteren Informationen
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Bilder
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 14:17:02