Rasterelektronenmikroskop (FE REM) JEOL GmbH; FEI JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Informationen
Name: | Rasterelektronenmikroskop (FE REM) | |
Hersteller: | JEOL GmbH; FEI | |
Modell: | JSM-6700F; Helios Nanolab 660 | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
Inventarnummer: | SEM01; SEM02 |
Beschreibung
- 3D Inspection
- Analysis SEM with FIB cut
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Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
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Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 14:17:02