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Rasterelektronenmikroskop (FE REM) JEOL GmbH; FEI JSM-6700F; Helios Nanolab 660

Informationen

Name: Rasterelektronenmikroskop (FE REM)
Hersteller: JEOL GmbH; FEI
Modell: JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: SEM01; SEM02

Beschreibung

  • 3D Inspection
  • Analysis SEM with FIB cut

Link zu weiteren Informationen

http://www.jeol.de/electronoptics/produktuebersicht/elektronen-ionenoptische-systeme/rasterelektronenmikroskope/

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Notizen

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 14:17:02