Thin Film Stress Measurement System / Eigenspannungsmessgerät dünner Schichten Toho Technology Inc. FLX-2320
Informationen
Name: | Thin Film Stress Measurement System / Eigenspannungsmessgerät dünner Schichten | |
Hersteller: | Toho Technology Inc. | |
Modell: | FLX-2320 | |
Einrichtung: | EUV- und Röntgenoptik | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) |
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Ansprechpartner
Dr. Stefan Braun
Web:
Telefon:
+49 351 83391-3432
Fax:
+49 351 83391-3314
Notizen
This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
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Thin Film Stress Measurement / Eigenspannungsmessung an dünnen Schichten |
Bilder
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:12