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Thin Film Stress Measurement System / Eigenspannungsmessgerät dünner Schichten Toho Technology Inc. FLX-2320

Informationen

Name: Thin Film Stress Measurement System / Eigenspannungsmessgerät dünner Schichten
Hersteller: Toho Technology Inc.
Modell: FLX-2320
Einrichtung: EUV- und Röntgenoptik
Partner: Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)

Link zu weiteren Informationen

http://www.tohotechnology.com/flx-series.php#Specification

Ansprechpartner

Dr. Stefan Braun
Telefon:
+49 351 83391-3432
Fax:
+49 351 83391-3314

Notizen

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Thin Film Stress Measurement / Eigenspannungsmessung an dünnen Schichten

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Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:12