Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen ATV Technologie GmbH Vaterstetten ATV
Informationen
Name: | Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen | |
Hersteller: | ATV Technologie GmbH Vaterstetten | |
Modell: | ATV | |
Einrichtung: | Professur für Halbleitertechnik (HLT) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) | |
Standort: | Cleanroom Mierdel-Bau |
Ansprechpartner
Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
Web:
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08