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Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen ATV Technologie GmbH Vaterstetten ATV

Informationen

Name: Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik (HLT)
Partner: Technische Universität Dresden (TUD)
Standort: Cleanroom Mierdel-Bau

Ansprechpartner

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)
E-Mail:
Telefon:
+49 351 463-35468
Fax:
+49 351 463-37172

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08