Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
de|en
Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen

Beschichtung tel; Osiris; Süss SK-80EX, dns& TEL-ACT8 ; Basixx ST20+; VARIXX 806; Gamma80

Informationen

Name: Beschichtung
Hersteller: tel; Osiris; Süss
Modell: SK-80EX, dns& TEL-ACT8 ; Basixx ST20+; VARIXX 806; Gamma80
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: Track02, Track03, Track04, COAT06, COAT07

Beschreibung

Spin Coating and Delelopment

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Lithographie für wafer

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 09:56:19