Beschichtung tel; Osiris; Süss SK-80EX, dns& TEL-ACT8 ; Basixx ST20+; VARIXX 806; Gamma80
Informationen
Name: | Beschichtung | |
Hersteller: | tel; Osiris; Süss | |
Modell: | SK-80EX, dns& TEL-ACT8 ; Basixx ST20+; VARIXX 806; Gamma80 | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
Inventarnummer: | Track02, Track03, Track04, COAT06, COAT07 |
Beschreibung
Spin Coating and Delelopment
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
---|---|---|
Lithographie für wafer |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 09:56:19