Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
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Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
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Kontraktierung Süss MA 200 GEN 3

Informationen

Name: Kontraktierung
Hersteller: Süss
Modell: MA 200 GEN 3
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Lithographie für wafer

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 09:49:47