Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
de|en
Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen

Vorbereitung für die Lithographie von Wafern ap&s 300 WB-08304

Informationen

Name: Vorbereitung für die Lithographie von Wafern
Hersteller: ap&s
Modell: 300 WB-08304
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: MC02

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Lithographie für wafer

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 09:54:04