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Sputtern (PVD) von Ardenne Anlagentechnik; SPTS CS400S; Sigma 204

Informationen

Name: Sputtern (PVD)
Hersteller: von Ardenne Anlagentechnik; SPTS
Modell: CS400S; Sigma 204
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: PVD02; PVD03; PVD04

Beschreibung

Sputtering is a physical vapor deposition (PVD) technique where atoms are ejected from a solid target material due to bombardment by energetic particles and then deposited onto a substrate to form a thin film. We offer this instrument for different processes:

  • Chemical Sensors and Barriers (Ta, Ta2O5, Nb, Nb2O5)
  • Mirrors and Hinges (Al, TiAl, Al alloys, Al2O3)
  • Interconnects (Al, AlSiCu, Ti, TiN)

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Abscheidung von Material auf Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 10:48:32