Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Evaporieren von Material auf ein Substrat Evatec BAK 761
Informationen
| Name: | Evaporieren von Material auf ein Substrat | |
| Hersteller: | Evatec | |
| Modell: | BAK 761 | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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| Inventarnummer: | EVA03 | |
Beschreibung
In this process the source material is heated until it vaporizes, and then the vapor condenses onto the substrate, forming a thin film.
We offer this for different materials:
- Al
- SiO2
- Al2O3
- TiO2
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 10:52:35