Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.

Evaporieren von Material auf ein Substrat Evatec BAK 761

Informationen

Name:	Evaporieren von Material auf ein Substrat
Hersteller:	Evatec
Modell:	BAK 761
Einrichtung:	200 mm MEMS-Reinraum
Partner:	Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer:	EVA03

Beschreibung

In this process the source material is heated until it vaporizes, and then the vapor condenses onto the substrate, forming a thin film.

We offer this for different materials:

Al
SiO₂
Al₂O₃
TiO₂

Optionen der Gerätenutzung

Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.

Ansprechpartner

Jörg Amelung

Web:

https://www.ipms.fraunhofer.de/en/cleanrooms/mems-technologies-dresden.html

E-Mail:

e-mail

Telefon:

+49 351 88 23-4691

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 10:52:35