Schnelles thermisches Glühen (RTA) OEMgroup Heatpuls 8800
Informationen
| Name: | Schnelles thermisches Glühen (RTA) | |
| Hersteller: | OEMgroup | |
| Modell: | Heatpuls 8800 | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
| Inventarnummer: | RTP02 | |
Beschreibung
This process involves quick heating and cooling of materials to modify their electrical or structural properties.
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
| Name | Vorschau | Aktionen |
|---|---|---|
| Abscheidung von Material auf Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 11:09:50