Dresden
Technologieportal

 
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Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
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Schnelles thermisches Glühen (RTA) OEMgroup Heatpuls 8800

Informationen

Name: Schnelles thermisches Glühen (RTA)
Hersteller: OEMgroup
Modell: Heatpuls 8800
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: RTP02

Beschreibung

This process involves quick heating and cooling of materials to modify their electrical or structural properties.

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Abscheidung von Material auf Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 11:09:50