Schnelles thermisches Glühen (RTA) OEMgroup Heatpuls 8800
Informationen
Name: | Schnelles thermisches Glühen (RTA) | |
Hersteller: | OEMgroup | |
Modell: | Heatpuls 8800 | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
Inventarnummer: | RTP02 |
Beschreibung
This process involves quick heating and cooling of materials to modify their electrical or structural properties.
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
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Abscheidung von Material auf Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 11:09:50