Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
de|en
Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen

Rasterkraftmikroskopie (AFM) Veeco; Park Systems Nanoscope D3100; NX-Wafer

Informationen

Name: Rasterkraftmikroskopie (AFM)
Hersteller: Veeco; Park Systems
Modell: Nanoscope D3100; NX-Wafer
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: MTR-AFM01; MTR-AFM02

Beschreibung

Atomic Force Microscopy (AFM) is a high-resolution imaging technique used in semiconductor manufacturing to measure surface topography and properties at the nanometer scale by scanning a sharp tip over the sample surface. We offer Surface Topology measurement with or withour automated handling. 

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 14:33:57