Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
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Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.
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Verspannungsmessungen Frontier Semiconductor FSM500-TC-R

Informationen

Name: Verspannungsmessungen
Hersteller: Frontier Semiconductor
Modell: FSM500-TC-R
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: MTR-TSM02

Beschreibung

We can perform Wafer bow, wafer stress and temperature dependent inspections. 

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Metrologie und Inspektion

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:28:29