Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
de|en
Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen

CV Analyse Keithley, Keysight B1500, HP4294A, HP4295A, K590

Informationen

Name: CV Analyse
Hersteller: Keithley, Keysight
Modell: B1500, HP4294A, HP4295A, K590
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: ANA-PROB01, WLR-PROB02

Beschreibung

  • Oxide thickness; flat band voltage; effective oxide charge; average bulk dop.; threshold voltage; Debye length; interface trap density (LF and HF-CV)
  • Relaxation time; minority carrier lifetime; surface scan velocity (TVS, CV BTS)

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Pruefung von Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:50:03