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Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS Formfactor AP200
Informationen
| Name: | Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS | |
| Hersteller: | Formfactor | |
| Modell: | AP200 | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
|
| Inventarnummer: | MEMS-TEST01 | |
Beschreibung
Wafer size 8", temperature: 15 … 125 °C, SMU, laser light barriers, frequency counter, switch matrix, up to 72 channels
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
| Name | Vorschau | Aktionen |
|---|---|---|
| Pruefung von Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:53:14