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Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS Formfactor AP200

Informationen

Name: Sensor-Aktor-Testsystem für MEMS / MOEMS
Hersteller: Formfactor
Modell: AP200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: MEMS-TEST01

Beschreibung

Wafer size 8", temperature: 15 … 125 °C, SMU, laser light barriers, frequency counter, switch matrix, up to 72 channels

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

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Pruefung von Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:53:14