Ionenstrahlätzanlage Veeco Microetch 301 A
Informationen
Name: | Ionenstrahlätzanlage | |
Hersteller: | Veeco | |
Modell: | Microetch 301 A | |
Einrichtung: | Professur für Festkörperelektronik (FKE) | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) | |
Standort: | Vakuumlabor |
Ansprechpartner
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08