Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen RIE/PECVD-Anlage Oxford Plasma Technology Plasmalab 80 Plus
Informationen
| Name: | RIE/PECVD-Anlage | |
| Hersteller: | Oxford Plasma Technology | |
| Modell: | Plasmalab 80 Plus | |
| Einrichtung: | Professur für Festkörperelektronik (FKE) | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Standort: | Vakuumlabor | |
Ansprechpartner
Prof. Dr.-Ing. habil. G. Gerlach/ Mrs. H. Collasch (Sec.)
Web:
E-Mail:
Telefon:
+49 (0)351 463-32077
Fax:
+49 (0)351 463-32320
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08