Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen 60 MHz PECVD Quelle
Informationen
| Name: | 60 MHz PECVD Quelle | |
| Einrichtung: | Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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Beschreibung
zur Abscheidung von Plasmapolymer- und anorganischen Kompositschichten
Ansprechpartner
Professur
Web:
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:08