Vakuumbeschichtungsanlage Pfeiffer PLS570
Informationen
Name: | Vakuumbeschichtungsanlage | |
Hersteller: | Pfeiffer | |
Modell: | PLS570 | |
Einrichtung: | Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse | |
Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
Beschreibung
mit Pulssputtertechnologie
Ansprechpartner
Professur
Web:
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:09