Vakuumbeschichtungsanlage Pfeiffer PLS570
Informationen
| Name: | Vakuumbeschichtungsanlage | |
| Hersteller: | Pfeiffer | |
| Modell: | PLS570 | |
| Einrichtung: | Professur Plasmatechnik für Beschichtungsprozesse | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) | |
Beschreibung
mit Pulssputtertechnologie
Ansprechpartner
Professur
Web:
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 13. Juli 2017 um 11:54:09