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Kontakt

Web: http://www.ipms.fraunhofer.de/en/research-development/nanoelectronic/analytical-services.html
Telefon: +49 351 26 07-3053
Fax: +49 351 2607-3005
Adresse: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Center Nanoelektronische Technologien, Analytics, Königsbrücker Str. 180, 01099 Dresden, Germany
Zentrum: Center Nanoelektronische Technologien (CNT)
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme

Beschreibung

Fraunhofer IPMS-CNT has established a versatile analytical facility. Our expertise ranges from wafer-level characterization with inline X-ray scattering methods and three-dimensional Atomic Force Microscopy to two- and three-dimensional device characterization with analytical transmission electron microscopy and atom probe tomography.

Our in-line metrology enables us to determine physical and chemical properties of structures on 300 mm wafers with 

• X-Ray Scattering 
• Raman Spectroscopy
• Atom Probe Tomography
• Focussed Ion Beam (FIB) 
• Electron Microscopy 
• Time-of-Flight Secondary Ion Mass Sprectronomy
• Inline Metrology 


All our tools for wafer level analysis are stationed in a class 1000 cleanroom environment that meets industrial standards.


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Geräte

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Zugehörigkeit

übergeordnete Einrichtungen

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Center Nanoelektronische Technologien (CNT) Zentrum anzeigen

Letztes Update

Letztes Update am: 06.02.2017 07:08