Analytics (Einrichtung)
of the Center Nanoelektronische Technologien (CNT)übergeordnete Einrichtungen:
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Kontakt
| Web: | http://www.ipms.fraunhofer.de/en/research-development/nanoelectronic/analytical-services.html | |
| Telefon: | +49 351 26 07-3053 | |
| Fax: | +49 351 2607-3005 | |
| Adresse: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Center Nanoelektronische Technologien, Analytics, Königsbrücker Str. 180, 01099 Dresden, Germany | |
| Zentrum: | Center Nanoelektronische Technologien (CNT) | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme |  |
Beschreibung
Fraunhofer IPMS-CNT has established a versatile analytical facility. Our expertise ranges from wafer-level characterization with inline X-ray scattering methods and three-dimensional Atomic Force Microscopy to two- and three-dimensional device characterization with analytical transmission electron microscopy and atom probe tomography.
Our in-line metrology enables us to determine physical and chemical properties of structures on 300 mm wafers with
• X-Ray Scattering
• Raman Spectroscopy
• Atom Probe Tomography
• Focussed Ion Beam (FIB)
• Electron Microscopy
• Time-of-Flight Secondary Ion Mass Sprectronomy
• Inline Metrology
All our tools for wafer level analysis are stationed in a class 1000 cleanroom environment that meets industrial standards.
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Geräte
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Zugehörigkeit
übergeordnete Einrichtungen
| Name | Typ | Aktionen |
|---|---|---|
| Center Nanoelektronische Technologien (CNT) | Zentrum |  anzeigen |
Letztes Update
Letztes Update am: 06.02.2017 07:08 CET