Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how

Center Nanoelektronische Technologien (CNT) (Zentrum)

übergeordnete Einrichtungen:
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)


Web: http://www.ipms.fraunhofer.de/en/research-development/nanoelectronic.html
Telefon: +49 (0)351 2607-3040
Fax: +49 (0) 351 2607 3005
Adresse: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Center Nanoelektronische Technologien (CNT), Königsbrücker Str. 178, 01099 Dresden, Germany
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme


The business unit Center Nanoelectronic Technologies is focussing on the certification of processes and materials on 300 mm wafers. More than 40 tools and a clean room (ISO 14644-1 class 6) are available for the integration of customer processes and subnanometer characterization. CNT’s process modules are:

    • Nanopatterning,
    • High-k Devices,
    • Cu-Metallization and 
    • Sub-nm Characterization and Verification.

Various synergy effects arise out of the close cooperation with business partners and our capabilities and know-how. Thus the innovations can be integrated quickly into the manufacturing process and the production costs and time can be reduced considerably.


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übergeordnete Einrichtungen

Name Typ Aktionen
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Institut anzeigen

untergeordnete Einrichtungen

Name Typ Geräte Dienstleistungen
Analytics Einrichtung (8)
High-k Devices Gruppe (1)
Interconnects Gruppe (2)

Letztes Update

Letztes Update am: 14.07.2016 07:55 CEST