Dresden
Technology Portal

 
Your access to research infrastructure and know-how
de|en

Services of Technische Universität Dresden (TUD)

Technische Universität Dresden (TUD)
Filter:
At least 1 result is visible to members only. please login
Sort:

270 results

 

Wafer Coating

Facility: Chair for Semiconductor Technology

Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.

 

Additive and subtractive wiring technology

Facility: Chair for Semiconductor Technology

Additive and subtractive wiring technology - e.g. Damascene structuring.