23 Ergebnisse
NV-Rasterelektronenmikroskop (REM)
Hersteller: JEOL GmbH
Modell: JSM-6610LV
Einrichtung: Seniorprofessur Mikrosystemtechnik
Rasterelektronenmikroskop mit „Low-Vacuum“-Betrieb.
Stylus Profilometer
Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.
Wafersäge
Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Focused Ion Beam (FIB)
Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
CVS Analysator
Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik