NV-Rasterelektronenmikroskop (REM)

Hersteller: JEOL GmbH
Modell: JSM-6610LV
Einrichtung: Seniorprofessur Mikrosystemtechnik

Rasterelektronenmikroskop mit „Low-Vacuum“-Betrieb.

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

CVS Analysator

Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

RIE Si-Tiefenätzanlage ASE

Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

analytisches Ellipsometer

Hersteller: Woollam
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

ALD Anlagen

Hersteller: FHR / Beneq
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen

Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Kontaktfotolithografie

Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik