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Geräte — Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)

Institute of Semiconductors and Microsystems
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Tags:REM/SEM(1)

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23 Ergebnisse

 

NV-Rasterelektronenmikroskop (REM)

Hersteller: JEOL GmbH
Modell: JSM-6610LV
Einrichtung: Seniorprofessur Mikrosystemtechnik

Rasterelektronenmikroskop mit „Low-Vacuum“-Betrieb.

 

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

 

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

CVS Analysator

Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

ALD Anlagen

Hersteller: FHR / Beneq
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen

Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik