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PVD Beschichtungsanlage
Hersteller: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden Modell: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Hersteller: Omikron Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Präzisionsdigitalnivellier
Hersteller: Leica Modell: NA3003 Einrichtung: Professur für Ingenieurgeodäsie