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Hochgeschwindigkeitskamera
Hersteller: Basler
Modell: A504k
Einrichtung: Professur für Computergraphik und Visualisierung
Rasterelektronenmikroskop
Hersteller: Philips
Modell: XL 40
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Ionenstrahlätzanlage
Hersteller: Veeco
Modell: Microetch 301 A
Einrichtung: Professur für Festkörperelektronik