Rolle-zu-Rolle Pilotbandbeschichtungsanlage (bis 1200 mm)

Hersteller: 3D-Micromac GmbH
Modell: atmoFlex 1250
Einrichtung: Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik

Rolle-zu-Rolle Pilotbandbeschichtungsanlage zur Entwicklung und Produktion von Mehrfachschichtsystemen aus Lack- und Vakuumschichten (bis zu einer Beschichtungsbreite von 1200 mm).

Pilotanlage für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung (bis 600 mm)

Modell: coFlex® 600
Einrichtung: Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik

Pilotanlage für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung von flexiblen Materialien (bis zu einer Beschichtungsbreite von 600 mm), ausgestattet mit Sputtertechnologien.

Vertikale in-line Sputter-Anlage (900 mm)

Modell: ILA 900
Einrichtung: Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik

Vertikale in-line Sputter-Anlage zur Beschichtung von Flachsubstraten, unter Reinraumbedingungen mit einer Magnetronlänge von 900 mm.

Versuchsanlage zur 3D-Beschichtung mittels Puls-Magnetron-Sputtern

Modell: UNIVERSA
Einrichtung: Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik

Versuchsanlage zur 3D-Beschichtung mittels Puls-Magnetron-Sputtern.

Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM / FE REM Rasterelektronenmikroskop)

Hersteller: Hitachi HTA
Modell: SU8000
Einrichtung: Werkstoffkunde/ Analytik

Ionenpräparations­system Cross Section Polisher

Hersteller: JEOL GmbH
Modell: SM-09010
Einrichtung: Werkstoffkunde/ Analytik

Nanoindenter

Hersteller: MTS
Modell: Nano Indenter XP
Einrichtung: Werkstoffkunde/ Analytik

Glimmentladungsspektrometer (GD-OES)

Hersteller: HORIBA Jobin Yvon GmbH
Modell: GD-Profiler 2™
Einrichtung: Werkstoffkunde/ Analytik