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Rasterkraftmikroskopie (AFM) Oxford Instruments Asylum Research Cypher

Informationen

Name: Rasterkraftmikroskopie (AFM)
Hersteller: Oxford Instruments
Modell: Asylum Research Cypher
Einrichtung: Analytik und Metrologie of the 300 mm CMOS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Beschreibung

Unser Labor-AFM von Oxford Instruments ist zusätzlich mit den Modi PFM (Piezokraftmikroskopie) und C-AFM (AFM) ausgestattet. Der Tapping/Non-Contact-Modus wird für die Analyse von Oberflächenrauheiten an Luft verwendet. Das Sichtfeld beträgt 30 x 30 µm2, und typische Probengrößen sind 1 x 1 cm2. Messbare Rauheitsniveaus liegen zwischen 3 nm und 1 µm.

 

Fähigkeiten

  • Topographie (AFM-Standard)
  • C-AFM
  • PFM

Link zu weiteren Informationen

https://www.ipms.fraunhofer.de/content/dam/ipms/common/products/CNT/cnt-2021/Fraunhofer%20IPMS%20-%20Semiconductor%20Analytical%20Services.pdf

Ansprechpartner

Notizen

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Analytik und Metrologie

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 20. Dezember 2024 um 13:59:09