Der fokussierte Ionenstrahl ist ein wesentliches Werkzeug in der modernen physikalischen Fehleranalyse. Ein fein fokussierter Ionenstrahl ermöglicht ein präzises Schneiden in eine Probe. Die Ausnutzung der Zielpräparation ist hierbei ein wichtiges Werkzeug zur Erzeugung von TEM und TKD Lamellen. FIB-Geräte sind heutzutage in der Regel Zweistrahlgeräte, die sowohl mit einer Ionenstrahlsäule als auch mit einer Elektronenstrahlsäule ausgestattet sind; somit können Bilder mit Elektronen und Ionen parallel aufgenommen werden. Darüber hinaus ist unser Gerät mit einem Mikromanipulator und einem Platin- sowie einem Kohlenstoffgasinjektionssystem ausgestattet, welches eine lokale Abscheidung von Platin bzw. Kohlenstoff ermöglicht. Dadurch kann das Gerät auch für die Nanolithographie und die Modifikation von Schaltkreisen eingesetzt werden.

Fähigkeiten

• Herstellung von elektronentransparenten Lamellen für TEM oder TKD
• Ionenstrahl-Bildgebung
• Herstellung von Querschnitten von Wafern für die Bewertung von z. B. Abscheidungs- und Ätzverfahren sowie für die Fehleranalyse

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).