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Time-of-Flight-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) ION-TOF GmbH TOF.SIMS 300R

Informationen

Name: Time-of-Flight-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)
Hersteller: ION-TOF GmbH
Modell: TOF.SIMS 300R
Einrichtung: Analytik und Metrologie of the 300 mm CMOS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Beschreibung

Bei der Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) wird ein Primärionenstrahl verwendet, um ein- und mehratomige Teilchen (Sekundärionen) von der Probenoberfläche zu erzeugen. Die Technik wird zur Charakterisierung der Oberfläche und des Bereichs unterhalb der Oberfläche von Materialien auf der Grundlage der Messung des m/z-Verhältnisses der ausgestoßenen Teilchen unter Ionenbeschuss eingesetzt. Die Masse der emittierten Ionen wird mit einem Massenspektrometer analysiert. Da der Ionenstrahl einen Krater in der Probe erzeugt, kann die Verteilung der verschiedenen Spezies innerhalb des Probenvolumens aufgezeichnet werden. Es können laterale Auflösungen von einigen hundert Nanometern und eine Tiefenauflösung von einigen Monoschichten erreicht werden. Um die absolute Konzentration der Elemente in der Probe zu quantifizieren, müssen die Analyseergebnisse mit Standards verglichen werden.

Fähigkeiten

  • Analyse eines RRAM-Stapels
  • Evaluierung Diffusionsverhalten von z.B.: Si in AL2O3

Link zu weiteren Informationen

https://www.ipms.fraunhofer.de/content/dam/ipms/common/products/CNT/cnt-2021/Fraunhofer%20IPMS%20-%20Semiconductor%20Analytical%20Services.pdf

Ansprechpartner

Notizen

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Analytik und Metrologie

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 20. Dezember 2024 um 13:35:59