Bei der Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) wird ein Primärionenstrahl verwendet, um ein- und mehratomige Teilchen (Sekundärionen) von der Probenoberfläche zu erzeugen. Die Technik wird zur Charakterisierung der Oberfläche und des Bereichs unterhalb der Oberfläche von Materialien auf der Grundlage der Messung des m/z-Verhältnisses der ausgestoßenen Teilchen unter Ionenbeschuss eingesetzt. Die Masse der emittierten Ionen wird mit einem Massenspektrometer analysiert. Da der Ionenstrahl einen Krater in der Probe erzeugt, kann die Verteilung der verschiedenen Spezies innerhalb des Probenvolumens aufgezeichnet werden. Es können laterale Auflösungen von einigen hundert Nanometern und eine Tiefenauflösung von einigen Monoschichten erreicht werden. Um die absolute Konzentration der Elemente in der Probe zu quantifizieren, müssen die Analyseergebnisse mit Standards verglichen werden.

Fähigkeiten

• Analyse eines RRAM-Stapels
• Evaluierung Diffusionsverhalten von z.B.: Si in AL₂O₃

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).