Lichtmikroskop Zeiss Zeiss Axio Imager KMAT und Axio Imager.A1m
Informationen
Name: | Lichtmikroskop | |
Hersteller: | Zeiss | |
Modell: | Zeiss Axio Imager KMAT und Axio Imager.A1m | |
Einrichtung: | Analytik und Metrologie of the 300 mm CMOS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
Beschreibung
Die Vollwafer-Lichtmikroskopie ermöglicht Bilder des gesamten Wafers. Die mögliche Fixierung der 200 bzw. 300 mm Wafer wird mittels Vakuum gewährleistet und ermöglicht eine optimale Handhabung sowie eine stabile Bildaufnahme. Die automatische Datenerfassung von vordefinierten Waferbereichen oder des gesamten Wafers erfolgt mit automatischer Tischbewegung und Stapeln in Z-Richtung (EDF-Funktion). Vergrößerungen von 2,5x (Übersicht) bis zu 150x sind möglich. Die erweiterte Fokusfunktion ermöglicht scharfe Bilder auch von Proben mit sehr hoher Topologie. Dedizierte Bereiche (Zoom) und Positionserkennung sind ebenfalls verfügbar.
Fähigkeiten
- Hellfeld / Dunkelfeld
- Interferenzkontrast in zirkular polarisiertem Licht (C-DIC)
- Untersuchung gesamter Wafer oder Waferbruchstücke
- Motorisierter Fokustrieb (5 nm) und motorisierter x-y-Scanningtisch
Equipment
- Zeiss Axio Imager KMAT
- Axio Imager.A1m
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Ansprechpartner
Notizen
Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
---|---|---|
Analytik und Metrologie |
Bilder
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 20. Dezember 2024 um 14:17:36