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Lichtmikroskop Zeiss Zeiss Axio Imager KMAT und Axio Imager.A1m

Informationen

Name: Lichtmikroskop
Hersteller: Zeiss
Modell: Zeiss Axio Imager KMAT und Axio Imager.A1m
Einrichtung: Analytik und Metrologie of the 300 mm CMOS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Beschreibung

Die Vollwafer-Lichtmikroskopie ermöglicht Bilder des gesamten Wafers. Die mögliche Fixierung der 200 bzw. 300 mm Wafer wird mittels Vakuum gewährleistet und ermöglicht eine optimale Handhabung sowie eine stabile Bildaufnahme. Die automatische Datenerfassung von vordefinierten Waferbereichen oder des gesamten Wafers erfolgt mit automatischer Tischbewegung und Stapeln in Z-Richtung (EDF-Funktion). Vergrößerungen von 2,5x (Übersicht) bis zu 150x sind möglich. Die erweiterte Fokusfunktion ermöglicht scharfe Bilder auch von Proben mit sehr hoher Topologie. Dedizierte Bereiche (Zoom) und Positionserkennung sind ebenfalls verfügbar.

Fähigkeiten

  • Hellfeld / Dunkelfeld
  • Interferenzkontrast in zirkular polarisiertem Licht (C-DIC)
  • Untersuchung gesamter Wafer oder Waferbruchstücke
  • Motorisierter Fokustrieb (5 nm) und motorisierter x-y-Scanningtisch

Equipment

  • Zeiss Axio Imager KMAT
  • Axio Imager.A1m

Link zu weiteren Informationen

https://www.ipms.fraunhofer.de/content/dam/ipms/common/products/CNT/cnt-2021/Fraunhofer%20IPMS%20-%20Semiconductor%20Analytical%20Services.pdf

Ansprechpartner

Notizen

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Analytik und Metrologie

Bilder

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 20. Dezember 2024 um 14:17:36