Die Röntgenbeugung untersucht die Anordnung der Atome in einer Probe, indem sie die Interferenz von Röntgenstrahlen nutzt, die an Gitterebenen oder Grenzflächen gestreut werden. Sie liefert Informationen über strukturelle Eigenschaften (z. B. kristallographische Phasen, Gitterkonstanten, Kristallisationsgrad) und mikrostrukturelle Eigenschaften (z. B. Korngröße, Vorzugsorientierung, Spannung, Schichtdicke, Rauheit, Dichte). Die Eindringtiefe kann zwischen einigen Nanometern und mehreren Mikrometern variiert werden. Die Empfindlichkeit liegt bei etwa 1 % Phasengehalt. Messungen sind bei Raumtemperatur als auch unter erhöhten Temperaturen möglich (Temperatureinfluss).

Fähigkeiten

• Charakterisierung von EPI-Schichten 
• Wachstumskinetik von z.B. Hf(Si)O₂-Schichten 
• Texturanalyse von z.B. Wolframschichten mit unterschiedlichem CMP-Verhalten 
• Evaluierung von Kristallisationsverhalten an z.B. TiO₂-Dünnschichten
• Möglichkeit von XRD-Messungen bei erhöhter Temperatur (HT-XRD)

Equipment

• Bruker D8 Discover

Es handelt sich um ein Instrument innerhalb des Dresdner Fraunhofer-Clusters Nanoanalyse (DFCNA).