Die Raman-Spektroskopie nutzt die inelastische Streuung von Laserlicht, um charakteristische Schwingungsmoden in einem Material lokal anzuregen und abzubilden. Dieser Streuprozess beinhaltet die Anregung oder den Zerfall charakteristischer Schwingungen chemischer Bindungen. Daher kann die Raman-Spektroskopie für die Analyse der Orientierung, Phase und Zusammensetzung eines Materials sowie für lateral aufgelöste Spannungs- und Temperaturabbildungen verwendet werden. Unsere Instrumente ermöglichen eine laterale Auflösung von bis zu 300 nm. Mit verschiedenen Lasern können wir die Oberflächenempfindlichkeit variieren und die Integrationstiefe von wenigen Nanometern bis zu einigen Mikrometern variieren.

Fähigkeiten

• Spannungskarten von Gräben (von oben nach unten und im Querschnitt)
• Seitlich aufgelöste Temperaturmessungen
• Lateral aufgelöste Phasenanalyse