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Trocken ätzen LAM; SPTS ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP

Informationen

Name: Trocken ätzen
Hersteller: LAM; SPTS
Modell: ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: RIE02, RIE04, RIE05

Beschreibung

  • Metal etch (Al / Al alloys)
  • Dielectrics & Poly Etch (SiO2, Si3N4, PolySi, a-Si)
  • Deep silicon etch

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Ätzen und Reinigen von Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 12:51:16