Trocken ätzen LAM; SPTS ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP
Informationen
Name: | Trocken ätzen | |
Hersteller: | LAM; SPTS | |
Modell: | ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
Inventarnummer: | RIE02, RIE04, RIE05 |
Beschreibung
- Metal etch (Al / Al alloys)
- Dielectrics & Poly Etch (SiO2, Si3N4, PolySi, a-Si)
- Deep silicon etch
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
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Ätzen und Reinigen von Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 12:51:16