Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Trocken ätzen LAM; SPTS ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP
Informationen
| Name: | Trocken ätzen | |
| Hersteller: | LAM; SPTS | |
| Modell: | ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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| Inventarnummer: | RIE02, RIE04, RIE05 | |
Beschreibung
- Metal etch (Al / Al alloys)
- Dielectrics & Poly Etch (SiO2, Si3N4, PolySi, a-Si)
- Deep silicon etch
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
| Name | Vorschau | Aktionen |
|---|---|---|
| Ätzen und Reinigen von Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 12:51:16