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Waderreinigung AP&S; Screen; PEMgroup GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST

Informationen

Name: Waderreinigung
Hersteller: AP&S; Screen; PEMgroup
Modell: GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Partner: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Inventarnummer: WET-CLEAN02; WET-EKC02; WET-SCR01

Beschreibung

We offer the following wafer cleaning processes:

  • Wafer Cleaning (SC1, SC2, DHF, RCA) (GigaStep I AP&S)
  • Scrubber (SS-80BW-AVR | Screen) 
  • Wet Strip (EKC clean) (Cintillio SST | OEMgroup)

Optionen der Gerätenutzung

Ansprechpartner

Jörg Amelung
E-Mail:
Telefon:
+49 351 88 23-4691

Zugeordnete Dienstleistungen

Name Vorschau Aktionen
Ätzen und Reinigen von Wafern

Letztes Update

Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 13:30:52