Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Waderreinigung AP&S; Screen; PEMgroup GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST
Informationen
| Name: | Waderreinigung | |
| Hersteller: | AP&S; Screen; PEMgroup | |
| Modell: | GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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| Inventarnummer: | WET-CLEAN02; WET-EKC02; WET-SCR01 | |
Beschreibung
We offer the following wafer cleaning processes:
- Wafer Cleaning (SC1, SC2, DHF, RCA) (GigaStep I AP&S)
- Scrubber (SS-80BW-AVR | Screen)
- Wet Strip (EKC clean) (Cintillio SST | OEMgroup)
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
| Name | Vorschau | Aktionen |
|---|---|---|
| Ätzen und Reinigen von Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 13:30:52