Waderreinigung AP&S; Screen; PEMgroup GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST
Informationen
Name: | Waderreinigung | |
Hersteller: | AP&S; Screen; PEMgroup | |
Modell: | GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) | |
Inventarnummer: | WET-CLEAN02; WET-EKC02; WET-SCR01 |
Beschreibung
We offer the following wafer cleaning processes:
- Wafer Cleaning (SC1, SC2, DHF, RCA) (GigaStep I AP&S)
- Scrubber (SS-80BW-AVR | Screen)
- Wet Strip (EKC clean) (Cintillio SST | OEMgroup)
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugeordnete Dienstleistungen
Name | Vorschau | Aktionen |
---|---|---|
Ätzen und Reinigen von Wafern |
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 13:30:52