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Profil anzeigen: 300 mm CMOS-Reinraum

Geräte — 300 mm CMOS-Reinraum

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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14 Ergebnisse

 

Wafer Reinigung

Einrichtung: 300 mm CMOS-Reinraum

 

Wafer-Beschichtung

Einrichtung: 300 mm CMOS-Reinraum

 

Chemisch-mechanische Planarisierung (CMP)

Einrichtung: 300 mm CMOS-Reinraum

 

Nanostrukturierung mittels E-Lithographie

Einrichtung: 300 mm CMOS-Reinraum

 

Atomare Schichtabscheidung

Einrichtung: 300 mm CMOS-Reinraum

 

Inline-Metrologie

Einrichtung: Analytik und Metrologie

 

Raman-Spektroskopie

Hersteller: Renishaw
Modell: Invia Reflex
Einrichtung: Analytik und Metrologie

 
Bruker TXRF-Spectrometer S2 Picofox (Quelle: www.bruker.com)

Lichtmikroskop

Hersteller: Zeiss
Modell: Zeiss Axio Imager KMAT und Axio Imager.A1m
Einrichtung: Analytik und Metrologie

 
FEI Strata 400 STEM (Quelle: www.ims.uconn.edu)

Fokussierter Ionenstrahl

Hersteller: FEI Company
Modell: Strata 400
Einrichtung: Analytik und Metrologie

 
CAMECA LEAP 4000 Si (Quelle: www.cameca.com)

Rasterkraftmikroskopie (AFM)

Hersteller: Oxford Instruments
Modell: Asylum Research Cypher
Einrichtung: Analytik und Metrologie

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