Mask Aligner

Hersteller: EV Group
Modell: EVG 640
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik

Mask Aligner für Photolithographie-Anwendungen in den Bereichen Advanced-Packaging, 3D-Packaging, MEMS, Interposer-Technologien, Fotovoltaik, Nanotechnologie und Wafer- und Board-Level-Optik

Brennofen

Hersteller: ATV Technologie GmbH
Modell: ATV PEO-630
Einrichtung: Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik

Brennofen zum Brennen und Sintern von Keramiken.

Spektrometer für optische Emissionsspektrometrie mittels induktiv gekoppelten Plasma (ICP-OES)

Hersteller: Perkin Elmer
Einrichtung: Professur für Anorganische Molekülchemie

UV-VIS-Spektrometer

Hersteller: PerkinElmer Inc.
Modell: LAMBDA™ 25
Einrichtung: Professur für Anorganische Molekülchemie

FT-IR / Raman Spektrometer

Hersteller: Bruker Optik GmbH
Modell: VERTEX 70 / FT-Raman-Modul
Einrichtung: Professur für Anorganische Molekülchemie

Hallraum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Multimodales Messlabor

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Großer schallreflexionsarmer Raum

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Kernbohrmaschine

Hersteller: DR. BENDER GmbH
Modell: R5002 WDB-F
Einrichtung: Institut für Geotechnik

Kernbohrmaschine

Hersteller: DR. BENDER GmbH
Modell: R5002 WDB-R
Einrichtung: Institut für Geotechnik