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Geräte — Professur für Halbleitertechnik (HLT)

Technische Universität Dresden
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22 Ergebnisse

 

Stylus Profilometer

Hersteller: Veeco
Modell: Dektak 8
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.

 

Wafersäge

Hersteller: Disco Technologies Japan
Modell: DAD3350
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Focused Ion Beam (FIB)

Hersteller: FEI
Modell: Expida 1285
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

CVS Analysator

Hersteller: Metrohm AG
Modell: VA Computrace 797
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

ALD Anlagen

Hersteller: FHR / Beneq
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen

Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten
Modell: ATV
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren

Hersteller: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Rasterkraftmikroskop

Hersteller: Digital Instruments Inc.
Modell: DI 3500 M
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

PVD Beschichtungsanlage

Hersteller: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden
Modell: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Rasterelektronenmikroskop

Hersteller: Philips
Modell: XL 40
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

 

Clusteranlage

Hersteller: FHR
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

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