22 Ergebnisse
Stylus Profilometer
Hersteller: Veeco Modell: Dektak 8 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.
Wafersäge
Hersteller: Disco Technologies Japan Modell: DAD3350 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Focused Ion Beam (FIB)
Hersteller: FEI Modell: Expida 1285 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
CVS Analysator
Hersteller: Metrohm AG Modell: VA Computrace 797 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Hersteller: ATV Technologie GmbH Vaterstetten Modell: ATV Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren
Hersteller: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Anlagen zur galvanischen bzw. chemisch stromlosen Abscheidung von Metallen und Legierungen
Hersteller: Fa. RENA und Eigenbau Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Rasterkraftmikroskop
Hersteller: Digital Instruments Inc. Modell: DI 3500 M Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
PVD Beschichtungsanlage
Hersteller: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden Modell: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Hersteller: Omikron Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Rasterelektronenmikroskop
Hersteller: Philips Modell: XL 40 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik