22 results
Stylus Profilometry
Manufacturer: Veeco Model: Dektak 8 Facility: Chair for Semiconductor Technology
Profilometer bis 100mm Weglänge. Messungen intrinsischer Schichtspannungen.
Wafer saw
Manufacturer: Disco Technologies Japan Model: DAD3350 Facility: Chair for Semiconductor Technology
Focused Ion Beam (FIB)
Manufacturer: FEI Model: Expida 1285 Facility: Chair for Semiconductor Technology
CVS Analysator
Manufacturer: Metrohm AG Model: VA Computrace 797 Facility: Chair for Semiconductor Technology
Temper-, Diffusions- und Oxydationsöfen
Manufacturer: ATV Technologie GmbH Vaterstetten Model: ATV Facility: Chair for Semiconductor Technology
Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren
Manufacturer: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea Facility: Chair for Semiconductor Technology
Anlagen zur galvanischen bzw. chemisch stromlosen Abscheidung von Metallen und Legierungen
Manufacturer: Fa. RENA und Eigenbau Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterkraftmikroskop
Manufacturer: Digital Instruments Inc. Model: DI 3500 M Facility: Chair for Semiconductor Technology
PVD Beschichtungsanlage
Manufacturer: FHR Anlagenbau GmbH / IHM TU Dresden Model: Sonderanfertigung nach Vorgabe IHM Facility: Chair for Semiconductor Technology
XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Manufacturer: Omikron Facility: Chair for Semiconductor Technology
Rasterelektronenmikroskop
Manufacturer: Philips Model: XL 40 Facility: Chair for Semiconductor Technology